WOLL.SEMICON
Präzision in der Nasschemie

WOLL.Semicon ist die Halbleitermarke der M-O-T Mikro- und Oberflächentechnik GmbH innerhalb der WOLL.Group. Wir entwickeln kundenspezifische Nassprozess-Anlagen für Forschung, Entwicklung und Serienproduktion. Am Standort Saarbrücken entwickeln und fertigen wir modulare und technologisch anspruchsvolle Systeme, die sich nahtlos sowohl in bestehende Front-End-of-Line (FEOL), als auch Back-End-of-Line (BEOL) Fertigungsumgebungen integrieren lassen.

Unsere Anlagen beherrschen komplexe nasschemische Prozesse wie Ätzen, Reinigen, Galvanisieren und Fotolackverarbeitung. Sie erfüllen die hohen Anforderungen moderner Anwendungen in Photonik, Energie, 5G, microLED, Sensorik und MEMS. Hochreine Wet-Bench-Systeme, präzise Prozesskontrolle und langlebige Komponenten sorgen für stabile Prozesse, hohe Effizienz und niedrige Betriebskosten.

Wir bieten manuelle, halb- und vollautomatische Nassprozesssysteme sowie kundenspezifische Chemiestationen mit breiter Materialkompatibilität. Verarbeitet werden unter anderem Silizium (Si), Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN), Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP) bei Wafergrößen bis zu 300 mm. Ergänzend ermöglichen unsere Plattformen die galvanische Abscheidung von Materialien wie Gold, Silber, Kupfer, Nickel und weiteren Legierungen.

Unser Anspruch: maßgeschneiderte Nasschemie-Lösungen, die höchste Prozessqualität liefern und Ihre Halbleiterproduktion messbar leistungsfähiger machen.