
μPORSI
Elektropolieren von Silikon
Unser μPORSI-System bietet eine Komplettlösung für die Herstellung und das Elektropolieren von porösem Silikon. Dieses fortschrittliche System eignet sich für anspruchsvolle Anwendungen in der LED-, Photovoltaik- und Halbleiterindustrie.
Die Anlage bildet den vollständigen Produktionsprozess inklusive Trocknung ab und ist gezielt auf die Anforderungen der Herstellung von porösem Silikon ausgelegt. Auf Wunsch unterstützen wir außerdem die Inbetriebnahme sowie die Integration der Prozesse vor Ort.
Da Prozessanforderungen je nach Anwendung variieren, ist das μPORSI-System modular und flexibel aufgebaut. So lässt es sich präzise an bestehende Produktionsumgebungen und individuelle Prozessparameter anpassen. Das System eignet sich sowohl für Forschungs- und Entwicklungsprojekte als auch für industrielle Serienfertigung und bietet eine skalierbare Grundlage für unterschiedlichste Anwendungen.
Datenblatt
Porous Silicon Unit μPORSI
Wafergrößen: Bis zu 300 mm
Anwendungen: MEMS, CMOS, Sensoren, Photovoltaik, F&E oder Produktion
Ätzmodule
- Umlaufzirkulation
- Auswahl an maßgeschneiderten Prozesszellen
- SPS-gesteuert
Spülmodul
- Standard: Überlaufspülung
- Optional: Quick Dump Rinse (QDR), Pentane, IPA
Aufbau
- Material: Weißes Polypropylen
- Rohrleitung: PP, optional PVDF oder PFA mit PFA Flaretek®-Anschlüssen
- Bedienpanel: Touch-Panel
Bedienelemente
- Alle Prozessbedienelemente sind in die Front integriert.
- Elektrische und pneumatische Komponenten befinden sich in einem separaten Fach im hinteren Servicebereich.
- DIW- und N2-Sprühpistolen sind in die Arbeitsfläche integriert.
Allgemeine Optionen
- Automatisierte Handhabung (kompatibel mit Robotern)
- Front Schieber: Material transparentes PVC
- Lichtunterstützte Herstellung von porösem Silizium
- Metallionenfreie Waferverarbeitung möglich
- Internes Chemikalienmanagement
- Integration von Vor-/Nachbearbeitungszellen, Laminar-Flow-Einheiten
- Ausführung als Abzugshaube
- FM 4910-zertifizierte Materialien

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