μCHEM und μLAB
Fotolackverarbeitung

Die Verarbeitung von Fotolacken ist ein wesentlicher Schritt in der Halbleiterfertigung, der die Erstellung komplexer Strukturen auf Substraten ermöglicht. Der Prozess umfasst das Beschichten, Belichten, Entwickeln, Ätzen und Reinigen von Fotolackschichten, um präzise Strukturen auf Wafern zu erzeugen. Mit steigenden Anforderungen an die Struktur gewinnt eine konstant hohe Qualität und Effizienz in der Fotolackverarbeitung zunehmend an Bedeutung.

Mit den μCHEM- und μLAB-Systemen bieten wir leistungsfähige Lösungen für alle nasschemischen Prozessschritte der Fotolackverarbeitung. Die Systeme sind auf maximale Präzision, Prozesssicherheit und Flexibilität ausgelegt und unterstützen sowohl Entwicklungs- und Qualifizierungsprozesse als auch industrielle Serienfertigung.

Durch ihre modulare Auslegung lassen sich die Systeme an unterschiedliche Anforderungen in Forschung, Pilotfertigung und Produktion anpassen. So entsteht eine zuverlässige und skalierbare Plattform für moderne Fotolackprozesse mit hoher Reproduzierbarkeit und stabiler Prozessqualität.