µCDS
Sichere Chemikalienversorgung

In der Halbleiterfertigung ist das sichere Handling und die kontrollierte Bereitstellung von Prozesschemikalien essenziell für stabile Prozessfenster und hohe Anlagenverfügbarkeit. Das μCDS-System übernimmt die Verteilung, Mischung und Entsorgung von Chemikalien in FEOL- und BEOL-Umgebungen und lässt sich über Netzwerkprotokolle oder hardwired Interfaces in bestehende Tool- und Facility-Infrastrukturen integrieren.

Das System ist für die Handhabung von Chemikalien in Großgebinden ausgelegt und unterstützt eine reproduzierbare Medienversorgung unter kontrollierten Prozessbedingungen. Misch- und Verteilprozesse werden kontinuierlich überwacht, während das modulare Anlagenkonzept eine flexible Anpassung an unterschiedliche Chemikalien, Verbrauchsmengen und Prozesslayouts ermöglicht.

Zur Ausstattung gehören Fass-Anschlussstationen mit integrierter Sicherheitsüberwachung, Leckage- und Abluftmonitoring, Füllstandserfassung sowie optische und akustische Alarmkonzepte. Das wartungsfreundliche Layout und die kompakte Bauweise ermöglichen eine effiziente Integration auch in produktionsnahen Reinraum- und Subfab-Bereichen.

Von der Medienauslegung über die Schnittstellendefinition bis zur Inbetriebnahme begleitet unser Engineering-Team die Integration mit Fokus auf Prozessstabilität, Medienreinheit und langfristig beherrschbare Betriebsbedingungen.