μGALVANO
Stromversorgung
μGALVANO ist ein hochpräzises Wave-Sequencing-Stromversorgungssystem für anspruchsvolle Galvanisierungsprozesse in der MEMS-Technologie und der Waferbearbeitung. Entwickelt für Forschung und industrielle Anwendungen, ermöglicht das System eine exakte Steuerung elektrochemischer Prozesse und reproduzierbare Beschichtungsergebnisse – insbesondere in der Halbleiter- und Optikindustrie.
Technische Highlights
- Erhältlich in 1A, 5A, 10A und 20A mit kundenspezifischen Optionen auf Anfrage
- Präzise Steuerung mit Pulsfunktionen ab 0,1 ms, perfekt für komplexe Beschichtungsprozesse
- Unterstützung von DC-, Puls- und Puls-Reverse-Betrieb
- Standardgenauigkeit von 1 mA mit optionaler Genauigkeitserhöhung auf 0,1 mA für höchste Ansprüche
- Optionale komplexe Wellenformen wie Sinus, Dreieck und steigende/fallende Wellenformen für kundenspezifische Galvanisierungsprozesse
- Weniger als 1 % Restwelligkeit für stabile Beschichtungsergebnisse
- Digitale Schnittstelle zur einfachen Systemintegration
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