μCHEM
Präzision für anspruchsvolle Nassätzprozesse
μCHEM ist ein hochentwickeltes Nassätzsystem für anspruchsvolle Anwendungen in der MEMS-, Halbleiter-, Optik- und Solarzellenindustrie. Es deckt alle gängigen chemischen Prozessschritte ab und ist durch seine modulare und flexible Bauweise sowohl für die industrielle Serienproduktion als auch für Forschungs- und Entwicklungsprojekte geeignet. So lassen sich Effizienz und Präzision in unterschiedlichen Einsatzbereichen zuverlässig sicherstellen.
Gefertigt aus hochwertigem Polypropylen oder Edelstahl bietet das System eine hohe Beständigkeit gegenüber Säuren, Basen und Lösungsmitteln. Gleichzeitig erfüllt μCHEM alle relevanten Umweltvorschriften und ist auf einen sicheren und stabilen Betrieb ausgelegt.
Eine integrierte Sicherheitswanne dient der kontrollierten Rückhaltung austretender Chemikalien und trägt zu einem sicheren und sauberen Arbeitsumfeld bei.
Datenblatt
Nassätzsystem μCHEM
Wafer-Größen: Bis zu 300 mm
Anwendungen: MEMS, CMOS, Sensor, PV, F&E oder Produktion
Ätzmodule
- Batch- oder Single-Wafer-Version
- Geeignet für Reinigung, Ätzen, Auflösen etc.
- Individuelle Kammeranzahl und Materialauswahl
- SPS-gesteuert
Spülmodul
- Standard: Überlaufspülung
- Optional: Quick Dump Rinsing (QDR), Spin Rinse Dryer (SRD)
Aufbau
- Material: Polypropylen weiß oder Edelstahl
- Verrohrung: PP-Leitungen, optional PVDF oder PFA-Flaretek®-Rohranschlüssen
- Bedienoberfläche: Touch-Panel
Weitere Ausstattung
- Automatisches Handling (vorbereitet für Roboter-Handling)
- Überlaufzirkulation mit Filtration
- Ultraschall- oder Megaschall-Technologie
- Internes Chemikalienmanagement
- Carrier-Bewegung
- Front Schieber: Material = transparentes PVC
- Integration von Laminar-Flow-Einheiten
- Integration von Vor-/Nachbearbeitungszellen möglich
- Ausführung als Abzugshaube
- Feuerlöscher auf Anfrage
- FM-4910-zertifizierte Materialien
Bedienelemente
- Alle Bedienelemente für die Prozesse sind in der Frontplatte integriert.
- Alle elektrischen und pneumatischen Komponenten befinden sich in einem separaten Bereich im hinteren Servicebereich.
- DIW- und N2-Sprühpistolen sind in die Arbeitsfläche integriert.
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