μCHEM-ECES
Elektrochemischer Ätzstopp 

Das Ätzstopp-Modul μCHEM-ECES ist ein innovatives System, das speziell für elektrochemische Ätzstoppprozesse (ECES) entwickelt wurde. Es zeichnet sich durch Kosteneffizienz, Benutzerfreundlichkeit und Präzision bei der Herstellung dünner, einkristalliner Siliziummembranen aus. Das Verfahren basiert auf den unterschiedlichen Ätzpotenzialen von n- und p-dotierten Siliziumschichten in alkalischen Ätzlösungen wie Kaliumhydroxid (KOH).

Der modulare und flexibel konfigurierbare Aufbau des μCHEM-ECES-Systems ermöglicht den Einsatz in der industriellen Serienproduktion sowie in Forschung und Entwicklung. Durch seine modulare Bauweise und die präzise Steuerbarkeit bietet das System eine ideale Lösung für anspruchsvolle Ätzprozesse in der Halbleitertechnik und Mikrosystemtechnik.

Wir arbeiten eng mit Ihnen zusammen, um sicherzustellen, dass jede Lösung optimal auf Ihre individuellen technischen Anforderungen abgestimmt ist. So gewährleisten wir Präzision, Effizienz und herausragende Ergebnisse sowohl in der Forschung als auch in der Massenproduktion.