μCHEM-ECES
Arrêt de gravure électrochimique

Le module d’arrêt de gravure μCHEM-ECES est un système innovant, spécialement développé pour les procédés d’arrêt de gravure électrochimique (ECES). Il se distingue par sa rentabilité, sa facilité d’utilisation et sa précision dans la fabrication de membranes de silicium minces monocristallines. Le procédé repose sur les différents potentiels de gravure des couches de silicium dopées n et p dans des solutions de gravure alcalines telles que l’hydroxyde de potassium (KOH).

La conception modulaire et configurable de manière flexible du système μCHEM-ECES permet une utilisation aussi bien en production industrielle en série qu’en recherche et développement. Grâce à sa construction modulaire et à sa commande précise, le système offre une solution idéale pour des procédés de gravure exigeants dans les technologies des semi-conducteurs et des microsystèmes.

Nous travaillons en étroite collaboration avec vous afin de garantir que chaque solution soit parfaitement adaptée à vos exigences techniques spécifiques. Nous assurons ainsi précision, efficacité et résultats remarquables, tant en recherche qu’en production de masse.