µGALV-P
Revêtement de panneaux de haute précision

La μGALV-P est une installation de pointe pour le revêtement de surface électrochimique, spécialement conçue pour des applications dans les domaines des MEMS, des semi-conducteurs, de l’optique et de la technologie solaire. Grâce à son concept d’installation flexible et à sa gestion de processus adaptable, elle convient aussi bien aux environnements de production industrielle qu’aux applications de recherche et développement.

Le système prend en charge des tailles de panneaux allant jusqu’à la Gen 5.1 et permet un revêtement précis et reproductible dans des conditions de processus stables. Parallèlement, les processus peuvent être accélérés de manière ciblée et adaptés avec souplesse aux différentes exigences de production.

Dans notre laboratoire d’application moderne en Allemagne, nous analysons et optimisons les processus de revêtement, testons différentes configurations d’installation et vous accompagnons dans le choix de produits chimiques et de paramètres de processus appropriés.

Il en résulte une solution qui s’intègre parfaitement dans votre environnement de production et de développement, garantissant des résultats stables et reproductibles.

Fiche technique
Installation de revêtement de panneaux : μGalv-P

Taille de panneaux : min. 300 x 300 mm² jusqu’à la Gen 5.1
Applications : optique, packaging RDL

Processus à débordement avec cellule de processus et réservoir de réserve avec circuit de filtration
Nombre de cellules adaptable
Dépôt électrolytique de métaux : Ni, Cu, Au, NiFe, SnPb et plus
Gravure / Développement / Décapage
Configuration des cellules de processus en tant que Rack Plater
Revêtement par impulsions et contre-impulsions avec un temps d’impulsion minimal de 0,1 ms ; formes d’ondes complexes en option telles que sinus, triangle, etc.

Standard : Rinçage par débordement
En option : Quick Dump Rinsing (QDR)

Matériau : polypropylène blanc
Pompe : pompe centrifuge en PP, PVDF ou PTFE en option
Filtre : filtre en PP, PVDF/PFA en option
Tuyauterie : tuyauterie en PP, tuyaux en PVDF ou PFA en option avec raccords de tuyaux PFA Flaretek ®
Interface utilisateur (IHM) : IPC avec clavier/moniteur et commande API
Disponible dans les versions Pro et R&D+

Manipulation automatique (semi-automatique, dry-in et dry-out)
Intégration de cellules de pré et post-traitement possible (= cellules de gravure et de mouillage disponibles)
Intégration d’unités à flux laminaire
Cellules de gravure et de mouillage disponibles (= intégration de cellules de pré et post-traitement possible)
Matériau conforme à la norme FM 4910 disponible en option