µCDS
Approvisionnement sécurisé en produits chimiques

Dans la fabrication de semi-conducteurs, la manipulation sécurisée et la fourniture contrôlée de produits chimiques de traitement sont essentielles pour des fenêtres de processus stables et une disponibilité élevée des équipements. Le système µCDS assure la distribution, le mélange et l’élimination des produits chimiques dans les environnements FEOL et BEOL, et peut être intégré aux infrastructures d’outils et d’installations existantes via des protocoles réseau ou des interfaces câblées.

Le système est conçu pour la manipulation de produits chimiques en grands conteneurs et prend en charge un approvisionnement reproductible en médias dans des conditions de processus contrôlées. Les processus de mélange et de distribution sont surveillés en continu, tandis que la conception modulaire de l’installation permet une adaptation flexible à différents produits chimiques, volumes de consommation et configurations de processus.

L’équipement comprend des stations de raccordement de fûts avec surveillance de sécurité intégrée, surveillance des fuites et de l’air extrait, détection de niveau de remplissage ainsi que des concepts d’alarme optiques et acoustiques. La conception conviviale pour la maintenance et la construction compacte permettent une intégration efficace même dans les zones de salles blanches et de sous-fab proches de la production.

De la conception des médias à la définition des interfaces et à la mise en service, notre équipe d’ingénierie accompagne l’intégration en se concentrant sur la stabilité des processus, la pureté des médias et des conditions de fonctionnement gérables à long terme.