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μCHEM
Précision pour des procédés de gravure humide exigeants

Le μCHEM est un système de gravure humide hautement développé pour les applications exigeantes dans les industries des MEMS, des semi-conducteurs, de l’optique et des cellules solaires. Grâce à sa conception modulaire et flexible, il couvre toutes les étapes courantes des processus chimiques et convient aussi bien à la production industrielle en série qu’aux projets de recherche et développement. Cela permet de garantir de manière fiable l’efficacité et la précision dans différents domaines d’application.

Fabriqué en polypropylène de haute qualité ou en acier inoxydable, le système offre une grande résistance aux acides, aux bases et aux solvants. Parallèlement, le μCHEM respecte toutes les réglementations environnementales en vigueur et est conçu pour un fonctionnement sûr et stable.

Un bac de rétention de sécurité intégré sert à la rétention contrôlée des produits chimiques qui s’échappent et contribue à un environnement de travail sûr et propre.

Fiche technique
Système de gravure humide μCHEM

Tailles de wafers : jusqu’à 300 mm
Applications : MEMS, CMOS, Capteurs, PV, R&D ou Production

Modules de gravure

  • Version batch ou mono-wafer
  • Adapté au nettoyage, à la gravure, la dissolution, etc.
  • Nombre de chambres et seléction de matériaux personnalisables
  • Contrôlé par API

 

Module de rinçage

  • Standard : Rinçage par débordement
  • En option : Quick Dump Rinsing (QDR), Spin Rinse Dryer (SRD)

 

Construction

  • Matériau : Polypropylène blanc ou acier inoxydable
  • Tuyauterie : Conduites en PP, raccords de tuyauterie PVDF ou PFA-Flaretek® en option
  • Interface utilisateur : Écran tactile

 

Caractéristiques supplémentaires

  • Manipulation automatique (préparé pour une manipulation robotisée)
  • Circulation par débordement avec filtration
  • Technologie ultrasonique ou mégasonique
  • Gestion interne des produits chimiques
  • Mouvement du support
  • Glissière frontale : matériau = PVC transparent
  • Intégration d’unités à flux laminaire
  • Intégration possible de cellules de pré/post-traitement
  • Conception sous forme de hotte aspirante
  • Extincteur sur demande
  • Matériaux certifiés FM-4910

 

Éléments de commande

  • Toutes les éléments de commande des processus sont intégrées dans le panneau frontal.
  • Tous les composants électriques et pneumatiques sont situés dans une zone séparée à l’arrière, dans la zone de service arrière.
  • Les pistolets de pulvérisation d’eau désionisée (DIW) et d’azote (N2) sont intégrés à la surface de travail.

 

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